两条腿走路，先解决有无问题

接触式曝光？

　　光学所老所长的话，让会议室里的气氛，再次变得微妙起来。

　　在场的专家们，都明白他话里的意思。

　　所谓的接触式曝光，是光刻技术最原始，也是最简单的形态。

　　它的优点是，结构简单，对光学系统的要求极低，甚至不需要投影物镜，只需要一个平行的光源，就能工作。

　　非常适合在当前一穷二白的情况下，快速搭建一个实验平台，用来验证光刻胶、显影、刻蚀等一系列化学工艺。

　　这听起来，是一个非常务实，非常符合当前国情的选择。

　　立刻，就有不少专家表示了赞同。

　　“我同意老张的看法！我们不能好高骛远，一口就想吃成个胖子。饭要一口一口吃，路要一步一步走。”

　　“没错，先用接触式曝光，把工艺流程跑通，把配套的材料搞出来。等这些基础打好了，再回头来攻关投影式光刻机，不是更稳妥吗？”

　　“先解决‘有’和‘没有’的问题，再解决‘好’和‘不好’的问题。我支持这个方案！”

　　一时间，主张“先易后难，稳扎稳打”的声音，占据了上风。

　　所有人的目光，都看向了林振，等待着他这个总设计师的最终决断。

　　林振没立刻表态。

　　他走到黑板前，看着自己刚刚画下的任务分配表，陷入了沉思。

　　其实，专家们说的有道理。

　　接触式曝光，确实是当前最现实的选择。

　　如果他一意孤行，非要一步到位，直接上最先进的投影式光刻机，那很可能会因为目标过高，导致整个项目在起步阶段，就因为无数个“不具备”而停滞不前，最终拖垮所有人的信心。

　　作为一个穿越者，他最大的优势是，他很清楚的知道，技术发展的客观规律和每一条技术路线的优点与弊端。

　　他不能盲目地把后世的“标准答案”，生搬硬套到这个一穷二白的年代。

　　他必须尊重科学，尊重现实。

　　想到这里，林振心中已经有了答案。

　　他面对着所有专家，缓缓开口。

　　“我同意，用接触式曝光，作为我们801工程的第一步。”

　　此话一出，支持该方案的专家们，都松了一口气。

　　他们生怕林振这个年轻的天才，会因为过于自信，而听不进他们这些老家伙的建议。

　　只是，林振接下来的话，却让所有人，都再次把心提到了嗓子眼。

　　“可是，”林振的音调斩钉截铁，“我只把它，当作一个验证工艺的平台，而不是我们最终要交付的产品。”

　　“为什么？”

　　光学所的老所长不解的问。

　　“接触式曝光，虽然简单，可它有一个致命的缺陷。”

　　林振解释道。

　　“那就是，在曝光过程中，掩膜版会和硅片上的光刻胶，直接接触。”

　　“这种接触，会带来三个无法解决的问题。”

　　“一，划伤。硅片和掩膜版上，哪怕有最微小的灰尘颗粒，都会在接触和压力的作用下，像砂纸一样，划伤彼此。这会导致掩膜版和硅片的报废率，高得惊人。”

　　“二，污染。光刻胶里的化学成分，会污染掩膜版。掩膜版上的灰尘，会转移到硅片上。这种交叉污染，在微米级的电路制造中，是致命的。”